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单晶炉

单晶炉资讯

我国首台12英寸单晶炉研制成功

据科技日报报道,近日,国家863计划项目“超大规模集成电路配套材料”重大专项中的“TDR-150型单晶炉(12英寸MCZ综合系统)”项目在北京正式通过科技部的验收,这标志着拥有自主知识产权和核心技术的大尺寸集成电路与太阳能用单晶硅生长...

分类:业界要闻 时间:2007/6/12 阅读:537 关键词:单晶炉 

单晶炉技术

单晶炉提拉速度控制系统

赵葵银1,胡俊达1,吴俊2(1.湖南工程学院,湖南湘潭411101;2.湘潭大学,湖南湘潭411105)摘要:采用自调整因子混合式模糊PID控制方法,对单晶炉的提拉速度进行控制。工程实际运行表明,该方法不仅能够提高系统的鲁棒性,还可以提高系统...

新品速递 时间:2007/4/29 阅读:2822

T46X型硒镓银单晶炉的研制

(西安理工大学,陕西西安710048)摘要:介绍了TDR-46X型单晶炉的设计思路及工作原理,结合拉制单晶的特殊工艺要求,分析了其主要结构及特点。关键词:单晶炉;结构;BS法;炉室上升中图分类号:TF806.9文献标识码:B文章编号:1004-45

新品速递 时间:2007/4/29 阅读:2244

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