Canon首款EUV设备业已出货 最小线宽达24nm

SPIE先进光刻会议上传来消息，日本Canon开发的深紫外光刻设备已经发货，用于研发而非生产。Canon公司的SFET设备(small-fieldexposuretool)数值孔径0.3，视场尺寸0.2-x0.6-mm。据日本芯片研发联盟Selet

分类：行业趋势 时间：2008/2/28 阅读：255