石英晶体膜厚控制仪/检测仪/探头/晶片

型号：MDC360C，MDC260，TM350，TM400

探头形式

该设备具有*大的自我检测系统，在自动运行模式过程中 ，即使在感应器晶片失效情况下，仍可在无需人工操作情况下完成预设镀膜程序。执行运行条件与中止功能可由操作员设定 。

·性能

MDC360 具有多重性能，**设备调整即可，具备多种半导体技术和*微处理器用途。

·动态检测更新速率

动态检测是由 0.5 至 10 Hz (赫兹) 之间调整，使之**佳分辨率及控制。

·优良的图象显示

MDC-360 配备了 256x64 像素液晶图象显示器，使之具备重要数据的即时显示，例如速率速率偏差膜厚及功率。

·程序*

MDC-360 配备了*编辑功能，以*已储存的程序的完整及不被其他人随意改动。

·运行过程无需人为操作设计

MDC-360 已具备真正的全自动运行至程序结束功能，并且具有*大的内在监测及*异常中断线路，使异常中断的可能性降至 。

·*故障中止

在运行过程中，如果出现故障MDC360 内在检测证实，运行无法继续MDC360 将中止程序运行并且关闭*输出，同时在速率控制错误或晶片故障时，MDC360可提供给操作者选择运行中止。

·保持程序中断状态

当MDC360 中断镀膜运行时，相关的运行信息将被储存起来，待故障排除后被中止了的镀膜运行将可继续进行。

·晶片失效时完成运行

MDC360 的内在监测与中止运行功能，是为了保护镀膜设备*以及避免设备在运行过程中发生严重故障，运行过程中晶片失效属于例外情况 ，可以不*中止运行程序，在此状态下MDC360 可以设定为中止运行，但也可设定为转换备用晶片或时间/功率方式继续运行。

·*能系统界面

*可程序化的*的输入和输出，使 MDC360 很容易与镀膜系统的界面连接，以控制更复杂的运行过程，同时为避免短路故障源*控制输出是***缘的。MDC360 还支持并接收光学膜厚仪的光学膜厚终止信号。

·电源干扰公差

完整的 RFI 滤波器与大容量的电容器将可容许至 700 ms (毫秒) 以下的电源中断及*度干扰而继续工作 。

·国际标准电源接头

电源接头是经过国际及*合 IEC (国际电器技术协会) 标准，输入电源可选择 100 至 240 伏，50 或 60 赫兹并配备了* RFI 干扰过滤器。

·现场性能*

*式界面板和选项板可以使基础设备个体在工作现场升级至系统*别

企业名：北京利方达真空技术有限责任公司

类型：生产企业

电话： 010-58957122

联系人：李雪

邮箱：leyfond@126.com

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