该设备具有*大的自我检测系统，在自动运行模式过程中，即使在感应器晶片失效情况下，仍可在无需人工操作情况下完成预设镀膜程序。执行运行条件与中止功能可由操作员设定。

　　•性能

　　MDC360具有多重性能，**设备调整即可，具备多种半导体技术和*微处理器用途。　　

　　•动态检测更新速率

　　动态检测是由0.5至10Hz（赫兹）之间调整，使之**佳分辨率及控制。

　　•优良的图象显示

　　MDC-360配备了256x64像素液晶图象显示器，使之具备重要数据的即时显示，例如速率速率偏差膜厚及功率。

　　•程序*

　　MDC-360配备了*编辑功能，以*已储存的程序的完整及不被其他人随意改动。

　　•运行过程无需人为操作设计

　　MDC-360已具备真正的全自动运行至程序结束功能，并且具有*大的内在监测及*异常中断线路，使异常中断的可能性降至。

　　•*故障中止

　　在运行过程中，如果出现故障MDC360内在检测证实，运行无法继续MDC360将中止程序运行并且关闭*输出，同时在速率控制错误或晶片故障时，MDC360可提供给操作者选择运行中止。

　　•保持程序中断状态　　

　　当MDC360中断镀膜运行时，相关的运行信息将被储存起来，待故障排除后被中止了的镀膜运行将可继续进行。

　　•晶片失效时完成运行

　　MDC360的内在监测与中止运行功能，是为了保护镀膜设备*以及避免设备在运行过程中发生严重故障，运行过程中晶片失效属于例外情况，可以不*中止运行程序，在此状态下MDC360可以设定为中止运行，但也可设定为转换备用晶片或时间／功率方式继续运行。

　　•*能系统界面

　　*可程序化的*的输入和输出，使MDC360很容易与镀膜系统的界面连接，以控制更复杂的运行过程，同时为避免短路故障源*控制输出是***缘的。MDC360还支持并接收光学膜厚仪的光学膜厚终止信号。

　　•电源干扰公差

　　完整的RFI滤波器与大容量的电容器将可容许至700ms（毫秒）以下的电源中断及*度干扰而继续工作。

　　•国际标准电源接头

　　电源接头是经过国际及*合IEC（国际电器技术协会）标准，输入电源可选择100至240伏，50或60赫兹并配备了*RFI干扰过滤器。

　　•现场性能*

　　*式界面板和选项板可以使基础设备个体在工作现场升级至系统*别。

企业名：北京利方达真空技术有限责任公司

类型：生产企业

电话： 010-58957122

联系人：李雪

邮箱：leyfond@126.com

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