MDC-360／361

　　*大：可同时对四个单探头、双探头或多探头连接和控制。可以储存多达99种工艺过程，999种定义膜层和32种完整定义的材料。

　　使用灵活：有更多的材料及系统参量进行控制，包括多段速率爬升、可编程离散输入／输出及2.5～10　MHz的感应晶片。

　　充分的软件支持：Maxtek的DCM软件充分支持MDC-360膜厚控制仪。它可以简化启动过程、调试过程及微调等复杂过程。它还可以实现工艺过程、系统和运转状态数据的完整存档。

　　操作简便：可操作的菜单控制界面。具有内置预存储材料库、命名的工艺过程和膜材搭配。

　　MDC-361即MDC-360的“黑匣子”。MDC-361是专门为那些喜欢只使用微机控制的用户设计的。用户可以用Maxtek的DCM软件在Windows™系统下对各种数据和曲线进行即时存储。

　　主要测量特性

　　频率分辨率：在6.0　MHz时0.03　Hz

　　质量分辨率：0.375　ng／cm²

　　感应晶片频率：2.5，　3，　5，　6，　9.5，　10　MHz

　　膜厚显示：0.000～　999.9　K＆Aring；

　　成膜速率：00.0～999　Ang／sec　（0～9.99μm／min）

　　膜层数量：1～999

　　图形显示：256×64　LCD　，CCFL背景照明

　　全套配置

　　MDC360C主机一台

　　振荡器及电缆线一套

　　探头一个

　　晶片5片

    主机尺寸

　　16.98×3.47×9.355（单位：英寸）

　　前面板宽度18.98英寸

企业名：北京利方达真空技术有限责任公司

类型：生产企业

电话： 010-58957122

联系人：李雪

邮箱：leyfond@126.com

地址：北京北京市北京市海淀区丰慧中路7号新材料创业大厦A-807