感知“利”器：利用薄膜转移技术制备薄膜体声波器件的方法

随着科技的发展，薄膜体声波器件在越来越多的范围内得到广泛的应用。现有技术中，薄膜体声波器件的制备方法一般为在金属底电极上沉积氧化物介质薄膜，然后在氧化物薄膜上制...

分类：新品快报 时间：2017/12/28 阅读：581 关键词：传感器声波器件