KLA-Tencor公司推出了全新系列的光罩检查系统，为晶片厂提供更灵活的配置方式，以检验进货的光罩，并检查生产光罩是否存在会降低产能并增加生产风险的污染物。TeraFab系统提供了三种基本配置，以满足逻辑集成电路和内存晶片厂及不同代光...
分类：业界要闻 时间：2008/3/19 阅读：877 关键词：检查系统
KLA-Tencor为晶片厂推出光罩检查系统的全新TeraFab系列
KLA-Tencor公司推出了全新系列的光罩检查系统，为晶片厂提供更灵活的配置方式，以检验进货的光罩，并检查生产光罩是否存在会降低产能并增加生产风险的污染物。TeraFab系统提供了三种基本配置，以满足逻辑集成电路和内存晶片厂及不同代光...
分类：名企新闻 时间：2008/3/17 阅读：316 关键词：检查系统
