光掩膜

光掩膜技术

光掩膜(mask)资料整理

Author:nfmaofrom:chinalayout本文将收集涉及光掩膜从材料到检测的一些资料,进行整理和粗略的概括。在半导体制造的整个流程中,其中一部分就是从版图到wafer制造中间的一个过程,即光掩膜或称光罩(mask)制造。这一部分是流程

新品速递 时间:2007/4/29 阅读:2363