硅衬底

硅衬底技术

碳化硅衬底的湿法氧化

半导体碳化硅(4H - SiC)材料凭借其宽禁带、高电子迁移率、高临界击穿电场以及高热导率等优异特性,在高频、高功率电子器件领域得到了广泛应用,在新能源汽车、智能电网、5G 通信等行业中展现出了广阔的发展前景。现代电力电子技术的飞...

基础电子 时间:2026/9/4 阅读:248

重掺硅衬底材料中氧沉淀研究进展

张红娣,刘彩池(河北工业大学半导体材料研究所,天津 300130)摘要:对国内外在重掺硅中氧沉淀方面的研究做了综合阐述,对氧沉淀研究现状和存在问题进行了讨同时就热处理,掺杂剂对氧沉淀的影响做了浅析,使人们对重掺硅衬底中氧沉淀这一...

新品速递 时间:2007/4/29 阅读:2519

硅衬底制备工艺简介

课程内容:1硅单晶的切割1.1工艺作用1.2切割原理1.3切割设备1.4切割方法1.5切割要求1.5.1硅片厚度1.5.2硅片两面平行度1.5.3硅片厚度公差1.6注意事项2研磨工艺2.1研磨的作用2.2研磨的方法2.2.1单面研磨2.2.2双面研

新品速递 时间:2007/4/29 阅读:3310