开始批量投入产线使用。该设备可稳定量产高品质大直径晶棒，也标志着12英寸硅片大规模、产业化布局取得了关键成效。 相较于8英寸国产硅片的量产进度，12英寸国产硅片远未进入产能释放阶段，与庞大的需求相比供应量远远不足。初步估计...
分类：名企新闻 时间：2019/8/5 阅读：1142 关键词：半导体
据科技日报报道，近日，国家863计划项目“超大规模集成电路配套材料”重大专项中的“TDR－150型单晶炉（12英寸MCZ综合系统）”项目在北京正式通过科技部的验收，这标志着拥有自主知识产权和核心技术的大尺寸集成电路与太阳能用单晶硅生长...
分类：业界要闻 时间：2007/6/12 阅读：782 关键词：单晶炉
(西安理工大学，陕西西安 710048)摘 要：介绍了TDR-46X型单晶炉的设计思路及工作原理，结合拉制单晶的特殊工艺要求,分析了其主要结构及特点。关键词：单晶炉； 结构； BS法； 炉室上升中图分类号：TF806．9 文献标识码：B 文章编号：1004...
新品速递 时间：2007/4/29 阅读：2741
摘要：采用自调整因子混合式模糊PID控制方法，对单晶炉的提拉速度进行控制。工程实际运行表明，该方法不仅能够提高系统的鲁棒性，还可以提高系统的动静态性能，获得了满意的控制效果。 关键词：单晶炉; 提拉速度; 自调整模糊控制器 ...
新品速递 时间：2007/4/29 阅读：70
