2nm
100Hz-30KHz
非接触位移传感器 STIL Initial:技术参数表 控制器 STIL Initial系列 型号 STIL Initial 0.4 STIL Initial E1.2 STIL Initial E1.2/90(1) STIL Initial 4.0 STIL Initial 12 光学笔 型号 CL2-MG140 ENDO 1.2 ENDO 1.2/90(1) CL4-MG35 CL5-MG35 测量范围 0.4mm 1.2mm 1.2mm 4.0mm 12.0mm 工作距离 11.0mm 2.4mm 0.4mm 16.4mm 29mm 光斑大小 3.4μm 15μm 13μm 7.2μm 16.5μm 倾斜角度(2)(3) ±28° ±14° ±9° ±21° ±14° 重量 190g 10g 10g 155g 175g 规格尺寸：Φ×L Φ27㎜×208.9㎜ Φ6㎜×75.2㎜ Φ6㎜×82㎜ Φ27㎜×145.5㎜ Φ27㎜×145.5㎜ 位移测量 轴向分辨率(4) 无平均值 22nm 100nm 160nm 130nm 400nm 有平均值（10） 8nm 35nm 60nm 50nm 180nm (5) 80nm 300nm 800nm 300nm 900nm 测量粗糙的金属样品(9) R NR NR NR NR 粗糙度测量(10) 可测量值 30nm NR NR NR NR 厚度测量(6) 可测量厚度(7)(8) 16μm 75μm NA 110μm 450μm 可测量厚度(7)(8) 510μm 1600μm NA 5700μm 16500μm 控制器 测量模式 <位移> 和 <厚度> 测量速率 100Hz-2
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