什么是芯片的纳米等级的含义，28nm，14nm，3nm 工艺
在芯片产业的新闻中，“28nm 工艺”“14nm 量产”“3nm 突破” 等表述频繁出现，“纳米（nm）” 俨然成为衡量芯片技术水平的核心指标。但对于多数人而言，“纳米等级” 究竟代表什么？不同纳米工艺（如 28nm、14nm、3nm）之间又有何本质...
基础电子 时间：2025/9/15 阅读：4107
80nm应用中的高数位孔径，双载具93nm TWINSCAN 扫描分步投影机
程天风（ASML 阿斯麦光刻设备有限公司）摘要：针对次100nm的生产,ASML 研发了一个新光刻系统,其中克服了许多底k1解晰度的挑战。其中包含0.85NA双载具193nm TWINSCAN的设计、性能与一些初步的量测数据。80nm的生产必须要有多方面的量测与...
新品速递 时间：2007/4/29 阅读：3270
摘要： 就象上一代248nm光刻技术一样，193nm光刻可能会继续拓展和延伸，其使用极限将远远超出人们的预计。随着强烈相位移和浸入式光刻以及其它一些技术的应用，193nm光刻至少可以维持到45nm工艺时代，甚至更远。 尽管以前没有考...
新品速递 时间：2007/4/29 阅读：3452
