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MIRAI使用标准工艺开发出等效氧化层厚0.5nm的MOS场效应管

半导体MIRAI项目的子项目组通过标准的MOS制造工艺(Gate-firstProcess,先加工栅极工艺)开发成功了等效氧化层厚度(EOT)为0.5nm的极薄型MOS场效应管(演讲序号20.2)。通过在栅叠层(GateStack)上使用高介电率(

分类:政策标准 时间:2007/12/17 阅读:743 关键词:MOS

MOS场效应管

MOS场效应管即金属-氧化物-半导体型场效应管,英文缩写为MOSFET(Metal-Oxide-SemiconductorField-Effect-Transistor),属于绝缘栅型。其主要特点是在金属栅极与沟道之间有一层二氧化硅绝缘层,因此具有

分类:业界要闻 时间:2007/1/15 阅读:4383 关键词:MOS

什么是VMOS场效应管?

VMOS场效应管(VMOSFET)简称VMOS管或功率场效应管,其全称为V型槽MOS场效应管。它是继MOSFET之后新发展起来的高效、功率开关器件。它不仅继承了MOS场效应管输入阻抗高(≥108W)、驱动电流小(左右0.1μA左右),还具有耐压高(

分类:业界要闻 时间:2006/11/21 阅读:2955

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