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IMEC宣布将于2010年导入ASML的β版EUV曝光装置

比利时的IMEC宣布将于2010年导入荷兰ASML的EUV（extremeultraviolet）曝光装置——“PPT（pre-productiontool）”。PPT相当于量产评估用β机，能够应用于22nm工艺CMOS技术的研发。IMEC同时还表

分类：名企新闻 时间：2007/10/23 阅读：755