EUV光刻机-维库电子市场网

EUV光刻机

光刻机领域的巨头 ASML 向 Intel 交付了首套高数值孔径 High - NA EUV 光刻机，型号为 TWINSCAN EXE：5000。在当时，业界普遍对这款光刻机寄予厚望，认为 High - NA EUV 将...

分类：业界动态时间：2025/7/5 阅读：341 关键词：EUV光刻机

如何粉碎一块薄饼？这个问题困扰着阿姆斯特丹纳米光刻高级研究中心 (ARCNL) 的研究员迪翁·恩格尔斯 (Dion Engels)。　　这里所说的薄饼指的是被粉碎的锡滴，它在 ASML 的光刻机中每秒被引爆五万次。这会产生等离子体，发射出极紫外 (EUV...

分类：业界动态时间：2025/6/17 阅读：229 关键词：EUV光刻机

据日经新闻获悉，荷兰先进芯片制造设备供应商 ASML Holdings 计划在未来几年将其驻日本机器维护人员增加五倍。　　ASML 是极紫外 (EUV) 光刻设备的唯一制造商，该设备对于...

分类：业界动态时间：2025/4/3 阅读：525 关键词：EUV光刻机 ASML

三星电子半导体（DS）部门最早将于今年年底引进High NA极紫外（EUV）设备。除了下一代曝光设备之外，我们还在开发可以检查高数值孔径掩模的设备。看来他们正在积极从事技术...

分类：业界动态时间：2024/8/19 阅读：512 关键词：EUV光刻机

随着决定超精细半导体工艺竞争力的极紫外（EUV）光刻设备重要性日益提升，三星电子、台积电和英特尔三大代工厂对下一代设备的争夺也愈加激烈。　　此前一直犹豫是否采用下一代EUV设备的台积电CEO，放弃了内部重大活动，飞赴荷兰与ASML洽...

分类：业界动态时间：2024/5/28 阅读：389 关键词：EUV光刻

从相关报道看来，Hyper-NA EUV 和高生产力工具是 ASML 未来十年的主要目标。　　ASML 荣誉首席技术官 Martin van den Brink 分享了通用 EUV 平台的“愿景”，其中可能包括 ...

分类：业界动态时间：2024/5/23 阅读：459 关键词：ASML

三星电子正在深化与蔡司集团在下一代EUV和芯片技术方面的合作，蔡司集团是全球唯一的极紫外（EUV）光系统供应商ASML Holding NV的光学系统唯一供应商。　　三星执行董事长...

分类：业界动态时间：2024/4/29 阅读：767 关键词：三星

据路透社报道，ASML 和英特尔本周表示，后者通过打开光源并使光到达晶圆上的光刻胶，利用 ASML 的高数值孔径光刻系统实现了一个重要的里程碑。这表明光源和镜子已正确对齐...

分类：业界动态时间：2024/2/29 阅读：395 关键词：光刻机

本周，在 2024 年先进光刻 + 图案化会议上，全球领先的纳米电子和数字技术研究与创新中心 IMEC 将展示 EUV 工艺、掩模和为实现高数值孔径（High-NA）极紫外（EUV）光刻而准...

分类：业界动态时间：2024/2/27 阅读：521 关键词：光刻机

据相关报道，ASML Holding NV表示，它开始向英特尔公司运送其第一台最新芯片制造机的主要部件。　　据不愿透露姓名的知情人士透露，这套名为高数值孔径极紫外线的最先进系...

分类：业界动态时间：2023/12/22 阅读：686

1965年，戈登·摩尔提出摩尔定律。当价格不变时，集成电路上可容纳的元器件的数目，约每隔18-24个月便会增加一倍，性能也将提升一倍。　　这个不断触碰半导体工艺极限的定律，也经常伴随着“死亡”和“新生”两方面的话题。其中就有人认...

基础电子时间：2018/5/28 阅读：1824