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EUV光刻机争夺战,正式开打

随着决定超精细半导体工艺竞争力的极紫外(EUV)光刻设备重要性日益提升,三星电子、台积电和英特尔三大代工厂对下一代设备的争夺也愈加激烈。  此前一直犹豫是否采用下一代EUV设备的台积电CEO,放弃了内部重大活动,飞赴荷兰与ASML洽...

分类:业界动态 时间:2024/5/28 阅读:233 关键词:EUV光刻

ASML正在考虑0.77NA的EUV光刻机

从相关报道看来,Hyper-NA EUV 和高生产力工具是 ASML 未来十年的主要目标。  ASML 荣誉首席技术官 Martin van den Brink 分享了通用 EUV 平台的“愿景”,其中可能包括 ...

分类:业界动态 时间:2024/5/23 阅读:342 关键词:ASML

三星联手蔡司,加码EUV光刻机

三星电子正在深化与蔡司集团在下一代EUV和芯片技术方面的合作,蔡司集团是全球唯一的极紫外(EUV)光系统供应商ASML Holding NV的光学系统唯一供应商。  三星执行董事长...

分类:业界动态 时间:2024/4/29 阅读:582 关键词:三星

台积电:晶圆厂复原70%,EUV 皆无受损

台积电表示,台湾于3日早晨经历里氏规模7.2级地震(过去25年来最强)。新竹、龙潭和竹南等科学园区的最大震度级为5,台中和台南科学园区的最大震度级则为4。  台积公司在...

分类:业界动态 时间:2024/4/7 阅读:246 关键词:晶圆

高数值孔径EUV光刻机,重要里程碑

据路透社报道,ASML 和英特尔本周表示,后者通过打开光源并使光到达晶圆上的光刻胶,利用 ASML 的高数值孔径光刻系统实现了一个重要的里程碑。这表明光源和镜子已正确对齐...

分类:业界动态 时间:2024/2/29 阅读:313 关键词:光刻机

High NA EUV光刻机价格曝光,量产万事俱备

本周,在 2024 年先进光刻 + 图案化会议上,全球领先的纳米电子和数字技术研究与创新中心 IMEC 将展示 EUV 工艺、掩模和为实现高数值孔径(High-NA)极紫外(EUV)光刻而准...

分类:业界动态 时间:2024/2/27 阅读:407 关键词:光刻机

ASML 向英特尔交付第一批高数值孔径 EUV 货物

ASML 首台量产高数值孔径 EUV 机器的首批主要部件已交付至英特尔俄勒冈州开发工厂。英特尔预计到明年年底将收到六台机器,  ASML 昨天在 Twitter 上表示:“我们很高兴也...

分类:名企新闻 时间:2023/12/25 阅读:312 关键词:ASML 英特尔

首台High-NA EUV光刻机,正式交货

据相关报道,ASML Holding NV表示,它开始向英特尔公司运送其第一台最新芯片制造机的主要部件。  据不愿透露姓名的知情人士透露,这套名为高数值孔径极紫外线的最先进系...

分类:业界动态 时间:2023/12/22 阅读:594

DNP开发出用于3纳米EUV光刻的光掩膜工艺

Dai Nippon Printing Co., Ltd. (DNP) (TOKYO: 7912)成功开发出一种光掩膜制造工艺,能够适应3纳米(10-9米)光刻工艺,以支持半导体制造的尖端工艺——极紫外(EUV)光刻。...

分类:新品快报 时间:2023/12/13 阅读:333 关键词:EUV光刻

有关EUV光刻,三星和ASML签订万亿协议

据韩国贸易、工业和能源部周二称,三星电子和 ASML 同意共同投资 1 万亿韩元(7.62 亿美元)在韩国建设一座研究工厂,以开发使用极紫外 (EUV) 设备的尖端半导体制造技术。...

分类:业界动态 时间:2023/12/13 阅读:433 关键词:EUV光刻

EUV技术

一文读懂半导体业的印钞机——EUV光刻机

1965年,戈登·摩尔提出摩尔定律。当价格不变时,集成电路上可容纳的元器件的数目,约每隔18-24个月便会增加一倍,性能也将提升一倍。  这个不断触碰半导体工艺极限的定律,也经常伴随着“死亡”和“新生”两方面的话题。其中就有人认...

基础电子 时间:2018/5/28 阅读:1626

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