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消息称台积电首台高数值孔径 EUV 光刻工具将于本月开始安装

台积电在采用 EUV 光刻工具进行量产方面领先于英特尔,但在高 NA EUV 系统方面,该公司似乎落后于其美国竞争对手。据《电子时报》和《联合报》报道,英特尔已将其 ASML 高 ...

分类:业界动态 时间:2024/9/11 阅读:175 关键词:台积电

台积电首部 High NA EUV 设备的购入价格远低于原定的 3.5 亿欧元报价

Digitimes 报道称,台积电首部 High NA EUV 设备的购入价格远低于原定的 3.5 亿欧元(备注:当前约 27.55 亿元人民币)报价。  据称,台积电之所以可以享受折扣,主要是...

分类:名企新闻 时间:2024/9/10 阅读:218 关键词:台积电

EUV光刻机新竞赛

三星电子半导体(DS)部门最早将于今年年底引进High NA极紫外(EUV)设备。除了下一代曝光设备之外,我们还在开发可以检查高数值孔径掩模的设备。看来他们正在积极从事技术...

分类:业界动态 时间:2024/8/19 阅读:373 关键词:EUV光刻机

三星或将于 2024 年底开始安装其首款高 NA EUV 光刻工具

据《首尔经济日报》援引消息人士称,三星将于 2024 年第四季度至 2025 年第一季度开始安装其首台数值孔径 (High-NA) 为 0.55 的 EUV 光刻工具。 该设备将主要用于研发目的...

分类:名企新闻 时间:2024/8/16 阅读:404 关键词:三星

台积电与 ASML 接近达成 EUV 协议,这对 1nm 芯片技术至关重要

台积电董事长刘德华今年5月秘密拜访阿斯麦总部,洽谈购买下一代极紫外(EUV)光刻设备,尤其是对半导体制造技术进步至关重要的“高数值孔径(NA EUV)”设备。  台湾《联...

分类:业界动态 时间:2024/7/19 阅读:342 关键词:台积电ASML

降低EUV光刻使用成本,设备巨头宣布!

东京电子 推出了 Acrevia,这是一款新型气体团簇光束 (GCB) 系统,专为细化 EUV 光刻创建的图案而设计。该工具采用低损伤表面处理,可用于多种用途,包括减少即将推出的节...

分类:业界动态 时间:2024/7/10 阅读:291 关键词:EUV

EUV光刻机争夺战,正式开打

随着决定超精细半导体工艺竞争力的极紫外(EUV)光刻设备重要性日益提升,三星电子、台积电和英特尔三大代工厂对下一代设备的争夺也愈加激烈。  此前一直犹豫是否采用下一代EUV设备的台积电CEO,放弃了内部重大活动,飞赴荷兰与ASML洽...

分类:业界动态 时间:2024/5/28 阅读:262 关键词:EUV光刻

ASML正在考虑0.77NA的EUV光刻机

从相关报道看来,Hyper-NA EUV 和高生产力工具是 ASML 未来十年的主要目标。  ASML 荣誉首席技术官 Martin van den Brink 分享了通用 EUV 平台的“愿景”,其中可能包括 ...

分类:业界动态 时间:2024/5/23 阅读:379 关键词:ASML

三星联手蔡司,加码EUV光刻机

三星电子正在深化与蔡司集团在下一代EUV和芯片技术方面的合作,蔡司集团是全球唯一的极紫外(EUV)光系统供应商ASML Holding NV的光学系统唯一供应商。  三星执行董事长...

分类:业界动态 时间:2024/4/29 阅读:638 关键词:三星

台积电:晶圆厂复原70%,EUV 皆无受损

台积电表示,台湾于3日早晨经历里氏规模7.2级地震(过去25年来最强)。新竹、龙潭和竹南等科学园区的最大震度级为5,台中和台南科学园区的最大震度级则为4。  台积公司在...

分类:业界动态 时间:2024/4/7 阅读:271 关键词:晶圆

EUV技术

一文读懂半导体业的印钞机——EUV光刻机

1965年,戈登·摩尔提出摩尔定律。当价格不变时,集成电路上可容纳的元器件的数目,约每隔18-24个月便会增加一倍,性能也将提升一倍。  这个不断触碰半导体工艺极限的定律,也经常伴随着“死亡”和“新生”两方面的话题。其中就有人认...

基础电子 时间:2018/5/28 阅读:1677

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