MEMS压力传感器在极端环境下表现优异

类别:其他  出处:网络整理  发布于:2012-12-11 16:37:46 | 1649 次阅读

  压力传感器是工业实践中为常用的一种传感器,其广泛应用于各种工业自控环境,涉及水利水电、铁路交通、智能建筑、生产自控、航空航天、、石化、油井、电力、船舶、机床、管道等众多行业。今年军用与民用航空领域的压力传感器营业收入将达到3570万美元,比去年的2970万美元增长20%。虽然来自这两个领域的MEMS压力传感器营业收入相对较小,而且不能与汽车或消费领域的MEMS营业收入相提并论,但未来几年可以保证稳步增长,尤其是因为鲜有其它器件可以承受其极端的工作环境。

MEMS压力传感器

  在极端环境下表现优异仔细看一下主要军用与民用航空应用,可以发现使用MEMS压力传感器的地方有很多。其中包括飞行数据系统、环境与舱压、机身中的液压系统、引擎与辅助电源设备,以及其它各种应用,比如舱门、氧气罩、飞行试验与结构监控。
  
  总体来看,航空器、喷气飞机、螺旋桨飞机和直升机中使用的压力传感器数量可能非常庞大。例如,大型喷气飞机需要多达130个传感器。
  
  对于引擎和其它环境恶劣的应用场合,豪华客机中有13个引擎压力传感器和开并,较小的喷气式飞机通常有六到七个传感器。所谓的全权限数字电子控制(FADEC)另外需要五到六个变换器(transducer)。FADEC是一种电子引擎控制器及相关附件,用于接收与分析多个变量,包括空气密度与引擎温度。
  
  采用封装的军用或航空MEMS压力传感器价格很容易达到或超过1000美元。与汽车中使用的MEMS器件相比,价格差距非常巨大,主要是因为前者对于芯片性能有更高的要求,而且需要在长达25年的时间里在规定温度范围内保持稳定,而汽车只要求保证10年的稳定性。
  
  总体来看,MEMS压力传感器必须能承受恶劣环境下的剧烈震动、高G过载影响与加速度、极端温度与高压。军用与航空应用通常是这类极端环境。另外,传感器还必须在这种困难环境下表现出完美的性能,具有高、低漂移和长期稳定性。必须在非常小的封装内满足这些苛刻要求,而且重量要轻。从这些方面来看,MEMS压力传感器能够主宰军用与航空领域。  

  MEMS供应商提供不同的集成水平。例如,美国霍尼韦尔可以生产传感器,也可以生产完整的系统。美国Kulite Semiconductor Products向波音、空中客车、Canadair和Embraer供应传感器,并向许多直升机与军用项目提供产品。美国霍尼韦尔在国内也代理商详情请点击:https://www.dzsc.com/product/searchfile/494.html

关键词:MEMS压力传感器

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