“假如我们把光刻机比作一把菜刀，那么光刻胶就好比是要切割的菜，没有高质量的菜，即使有了锋利的菜刀，也无法做出一道佳肴。”日前，江苏博砚电子科技有限公司技术部章宇轩在接受科技日报记者采访时说。在北京化工大学理学院院长聂俊眼里，我国虽...
东芝开发出了用于EUV(ExtremeUltraviolet)曝光的负型低分子光刻胶(Resist),并公布了对线宽/线间隔(L/S)为22nm的图案进行解像的成果.在低分子类光刻胶弱项的刻线边缘粗糙度(LineEdgeRoughness,LER)
分类：业界要闻 时间：2009/11/20 阅读：464 关键词：分辨率
Toshiba开发出用于20nm节点EUV光刻的分子光刻胶技术
东芝(ToshibaCorporation)日前宣布,已经开发出未来EUV光刻所必需的高分辨率的光刻胶,并采用了全球20nm工艺技术对其可行性进行了验证.研究成果将在11月19日举行的第22届国际微处理器和纳米技术会议上披露.随着半导体工艺技术
分类：业界要闻 时间：2009/11/19 阅读：487 关键词：Toshiba
根据咨询公司LinxConsulting的报告，193nm光刻胶市场预计将在未来五年内获得27%的符合年均增长率，到2013年将达近12亿美元。193nm光刻胶市场，包括干法和沉浸式，是先进光刻及制版市场上成长潜力的市场。2008年，该市场约为
分类：行业趋势 时间：2009/6/30 阅读：421
由北京科华微电子材料有限公司投资建设的我国条百吨级光刻胶生产线5月8日在北京市顺义区建成并投产运行。这标志着我国开始拥有了自己的光刻胶产品，国内微电子技术行业长期依赖进口光刻胶的局面将从此结束。光刻胶是集成电路制造过程中的一种关键材...
分类：名企新闻 时间：2009/5/26 阅读：454 关键词：生产线
据EETimes网站报道，为了应对原材料价格上涨，日本JSRCorp.将在全球范围内提升g-和i-linePFR系列光刻胶价格，提价范围为6％至10％，于12月1日起正式生效。JSR表示公司已采取了积极的措施来改善生产效率，以弥补原材料、劳动力和物
时间：2008/11/17 阅读：298 关键词：原材料
Mattson新款Suprema光刻胶剥离系统获订单应用于32nm逻辑器件开发
半导体设备商MattsonTechnology公司日前宣布，其系列Suprema(TM)光刻胶剥离系统收到订单。此订单来自一家的半导体制造商，将用于32nm节点高K及金属栅极的光刻胶剥离。Mattson称此订单意义重大，是套被客户用于逻
分类：名企新闻 时间：2008/10/22 阅读：870
据SemiconductorInternational网站报道，Gartner的调研数据显示，2007年全球半导体光刻胶市场增长14.5％达到12亿美元。Gartner副总裁KlausRinnen在一份声明中评论道：“2007年光刻胶用量增长4.2
分类：业界动态 时间：2008/7/2 阅读：401 关键词：Gartner
全球材料、应用技术及服务综合供应商美国道康宁公司电子部（DowCorningElectronics）的硅晶片光刻解决方案事业部今日宣布正式开始供应DowCorning®XR-1541电子束光刻胶，该产品是专为实现下一代、直写光刻工艺技术开发
据SemiconductorInternational网站报道，为了满足32nm和22nm半导体制程的需要，材料供应商DowCorningElectronics硅光刻方案组近日发布XR-1541E-BeamResist光刻胶。该款全新涂布式光刻胶可
分类：新品快报 时间：2008/6/26 阅读：517
Dow Corning硅聚合物树脂产能翻番 更多厂商受惠先进光刻胶
为了适应市场需求，DowCorningElectronics称计划将其硅聚合物树脂产能增加至现在的两倍，这种树脂用于制造半导体光刻工艺中的新型双分子层光刻胶。2006年，DowCorning和日本TOK宣布共同开发双分子层光刻胶。DowCornin
分类：名企新闻 时间：2008/2/21 阅读：274
光刻胶是集成电路中实现芯片图形转移的关键基础化学材料，在光刻胶的高端领域，技术一直为美国、日本厂商等所垄断；近年来，本土光刻胶供应商开始涉足光刻胶的研发与生产，苏州华飞微电子材料有限公司就是其中一家。据华飞微电子总工程师兼代总经理...
分类：名企新闻 时间：2007/12/29 阅读：373 关键词：微电子
日本东丽工程将于2008年投产支持第10代玻璃底板的光刻胶涂布装置
据日经BP社报道，日本东丽工程计划于2008年投产支持第10代玻璃底板的彩色滤光片用光刻胶涂布装置。并将光刻胶的涂布宽度从第8代的2400mm加大到3200mm。该公司在面向韩国和台湾液晶面板大厂商的彩色滤光片用光刻胶涂布装置市场上拥有50～60％
分类：行业趋势 时间：2007/10/30 阅读：467
精工爱普生集团下属的爱普生影像设备（EpsonImagingDevice）宣布，2007年7月已在日本国内的所有事业所全面停用列入PRTR（污染物排放与转移登记制度）的化学物质“乙醇胺（2-Aminoethanol）”。乙醇胺是液晶面板制造前期工序
分类：业界要闻 时间：2007/8/15 阅读：1414 关键词：爱普生
