你好,欢迎来到维库电子市场网
登录 | 免费注册
利用SiO2薄膜,台湾淡江大学推出小型压力传感器
台湾淡江大学机械与电机工程系日前开发成功出尺寸为50μm×50μm的小型压力传感器芯片。通过对压力传感器部分的薄膜形成手法进行改进,实现了小型化。同时还使用明胶对传感器部分进行了封装。这种压力传感器可用于生物相关领域。据介绍,此次开发的...
分类:新品快报 时间:2006/2/6 阅读:713