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利用SiO2薄膜，台湾淡江大学推出小型压力传感器
台湾淡江大学机械与电机工程系日前开发成功出尺寸为50μm×50μm的小型压力传感器芯片。通过对压力传感器部分的薄膜形成手法进行改进，实现了小型化。同时还使用明胶对传感器部分进行了封装。这种压力传感器可用于生物相关领域。据介绍，此次开发的...
分类：新品快报 时间：2006/2/6 阅读：713
