SK 海力士开发业界氖气回收技术

类别:名企新闻  出处:网络整理  发布于:2024-04-02 10:16:35 | 306 次阅读

  SK海力士4月1日宣布,与国内特种气体公司TEMC合作开发出半导体行业氖气回收技术。这一成就是在与国内一家材料、零部件和设备公司开始开发回收技术一年多后取得的。
  氖气是稀有气体之一,也是半导体光刻工艺所必需的准分子激光气体的主要成分。用作激光光源时具有不发生化学分解或变化的特点。这意味着氖一旦使用,经过分离和提纯过程去除杂质后可以回收利用。
  针对这一点,SK海力士和TEMC成功开发了氖气回收技术。这些公司将氖气收集在收集罐中,否则氖气会在光刻过程后通过洗涤器排放到空气中。然后,通过TEMC的气体处理工艺,氖气被选择性地分离和纯化。
  纯化后的氖气将返回给 SK 海力士,进一步用于半导体制造工艺。目前,霓虹灯回收率为72.7%。SK海力士计划不断提高净化率,将氖回收率提高至77%。
  在半导体工厂应用氖气回收技术,预计每年可减少约400亿韩元的氖气采购成本。该技术预计每年还可减少氖气生产过程中的温室气体排放约12,000吨二氧化碳当量。
关键词:SK 海力士

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