9000
Aerotech
ABL9000气浮平台 1世上性能的气浮平台,适用于晶片,平板显示,光学检测和加工等要求苛刻的场合 2所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承) 3行程达1.2米X1.2米 4Y轴双直线电机驱动 5直线编码器或激光干涉仪反馈 6主动控制偏转 行程≤1200mm ±0.50um 重复定位±0.10um 直线度±0.50um 平面度±0.50um AHL9000直线电机平台 1专为晶片检测，平板显示加工和光学检测及制造应用设计 2扫描轴是空气轴承，步进轴是机械轴承 3行程达1.2米X1.2米 4双直线电机驱动步进轴 5直线编码器或激光干涉仪反馈 行程≤350mm ±1.0um 重复定位±0.20um 直线度±0.60um 平面度±0.60um
