ABL3600
Aerotech
ABL3600双轴，大孔径，开放式气浮轴承平台，专为扫描显微镜，掩模，晶片检测独特应用而设计。 设计和结构 结合高硬度气浮轴承和双直线电机驱动可保证XY开放式平台具有杰出的性能特征。ABL3600在性能上是传统机械轴承开放式平台的升级版。 同Aerotech所有气浮轴承系统一样，专有制造技术的使用以生产出杰出几何性能即直线度，平面度，倾斜，滚转和偏转的平台。ABL3600是由Aerotech的产品工厂制造，且通过传统方法不可达到的公差加工而来。 无刷直线伺服电机 ABL3600带有高功率直线电机以满足苛刻要求应用的需求。该平台具有直驱机械的所有优势：零背隙，无缠绕，特别的加速度，零摩擦和杰出的伺服硬度。许多应用要求好的运动稳定性，该性能只能通过直线电机驱动才能满足。由于直驱无摩擦及无再循环因素，ABL3600是扫描，成像或其他精密应用的理想选择。 高直线编码器反馈 标准反馈设备是高分辨率，非接触，直线编码器。这种非接触式编码器在工作条件先可提供杰出的重复定位和稳定性。可提供数字量和模拟量输出两种方式。 线缆管理 经过多年全面深思熟虑的研究，Aerotech可提供工业上的线缆管理系统（CMS）。我们仔细优化线缆弯曲半径和只使用高质量线缆
