ABLS600
XIVI
北京星微自动化科技有限公司 精密度高，可定制重复定位0.1um或更高的精密平台 *速度高，速度可达到7m/s，极大提高生产效率 *洁净度高，平台运动无需丝杠、减速器等中间部件，无需采用相关维护保养措施，适用高洁净要求环境 *高刚性，加速性能好 *动态响应快，执行机构与平台之间无非线性机械部件，可获得极高动态响应 *平台零件少，组装调试简单，零维护 *平台运动平稳，运动速度从1um/s到7m/s均能适应，推力范围从几牛顿到几万牛顿可选 超精密运动平台主要应用于各种超精密、高效率要求的加工场合，如半导体加工设备、激光加工设备、电子加工设备、精密机床设备、物流设备、机器人设备、分子筛等 运动行程：50~500mm可选择定制 运动：0.1um~10um可选择定制 音圈直线电机气浮平台是采用气浮导轨，并可以稳定地高地运行， 这种悬浮是轴承腔内导入的压力空气来实现的，泄压的缝隙极小，保证了转动轴的悬浮。高速度，高度；无摩擦力；无磨损；不需要润滑油；有卓越的速度控制性能；无噪音。正因为气浮转台有这么多的优点，现在越来越多高的应用领域用空气轴承来取代普通的机械轴承。 产品特点 1) 结构简单（精巧）2) 回转轻巧3) 运转平滑4) 精
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