ABL2000
Aerotech
ABL2000气浮平台 1专为晶片成像/缺陷探测/涂覆应用设计 2运动超平滑,速度稳定性突出 3直线编码器或激光干涉仪反馈 4行程达1.2米 5全预加负载气浮导轨(空气轴承) 6全部非接触设计 行程≤1200mm ±0.50um 重复定位±0.20um 直线度±0.25um 平面度±0.25um ABL1000气浮平台 1专为高性能校准和装配应用设计 2分辨率达2nm的直线编码器反馈 3闭环分辨率可达0.5nm(使用A3200控制器) 4全预加负载气浮导轨(空气轴承) 5低噪音线性放大器 6全部非接触设计 行程≤150mm ±0.20um 重复定位±0.05um 直线度±0.25um 平面度±0.25um 相关文档 ABL1500直线电机平台 1专为高性能扫描和检测应用设计 2分辨率达到nm以下的直线编码器反馈 3全预加负载气浮导轨(空气轴承) 4大负载高刚性几何特性极好 行程≤500mm ±0.20um 重复定位±0.10um 直线度±0.25um 平面度±0.25um
