EUV光刻

EUV光刻资讯

EUV光刻机新竞赛

三星电子半导体(DS)部门最早将于今年年底引进High NA极紫外(EUV)设备。除了下一代曝光设备之外,我们还在开发可以检查高数值孔径掩模的设备。看来他们正在积极从事技术...

分类:业界动态 时间:2024/8/19 阅读:373 关键词:EUV光刻机

降低EUV光刻使用成本,设备巨头宣布!

东京电子 推出了 Acrevia,这是一款新型气体团簇光束 (GCB) 系统,专为细化 EUV 光刻创建的图案而设计。该工具采用低损伤表面处理,可用于多种用途,包括减少即将推出的节...

分类:业界动态 时间:2024/7/10 阅读:291 关键词:EUV

EUV光刻机争夺战,正式开打

随着决定超精细半导体工艺竞争力的极紫外(EUV)光刻设备重要性日益提升,三星电子、台积电和英特尔三大代工厂对下一代设备的争夺也愈加激烈。  此前一直犹豫是否采用下一代EUV设备的台积电CEO,放弃了内部重大活动,飞赴荷兰与ASML洽...

分类:业界动态 时间:2024/5/28 阅读:262 关键词:EUV光刻

ASML正在考虑0.77NA的EUV光刻机

从相关报道看来,Hyper-NA EUV 和高生产力工具是 ASML 未来十年的主要目标。  ASML 荣誉首席技术官 Martin van den Brink 分享了通用 EUV 平台的“愿景”,其中可能包括 ...

分类:业界动态 时间:2024/5/23 阅读:379 关键词:ASML

三星联手蔡司,加码EUV光刻机

三星电子正在深化与蔡司集团在下一代EUV和芯片技术方面的合作,蔡司集团是全球唯一的极紫外(EUV)光系统供应商ASML Holding NV的光学系统唯一供应商。  三星执行董事长...

分类:业界动态 时间:2024/4/29 阅读:638 关键词:三星

高数值孔径EUV光刻机,重要里程碑

据路透社报道,ASML 和英特尔本周表示,后者通过打开光源并使光到达晶圆上的光刻胶,利用 ASML 的高数值孔径光刻系统实现了一个重要的里程碑。这表明光源和镜子已正确对齐...

分类:业界动态 时间:2024/2/29 阅读:333 关键词:光刻机

High NA EUV光刻机价格曝光,量产万事俱备

本周,在 2024 年先进光刻 + 图案化会议上,全球领先的纳米电子和数字技术研究与创新中心 IMEC 将展示 EUV 工艺、掩模和为实现高数值孔径(High-NA)极紫外(EUV)光刻而准...

分类:业界动态 时间:2024/2/27 阅读:439 关键词:光刻机

首台High-NA EUV光刻机,正式交货

据相关报道,ASML Holding NV表示,它开始向英特尔公司运送其第一台最新芯片制造机的主要部件。  据不愿透露姓名的知情人士透露,这套名为高数值孔径极紫外线的最先进系...

分类:业界动态 时间:2023/12/22 阅读:615

DNP开发出用于3纳米EUV光刻的光掩膜工艺

Dai Nippon Printing Co., Ltd. (DNP) (TOKYO: 7912)成功开发出一种光掩膜制造工艺,能够适应3纳米(10-9米)光刻工艺,以支持半导体制造的尖端工艺——极紫外(EUV)光刻。...

分类:新品快报 时间:2023/12/13 阅读:349 关键词:EUV光刻

有关EUV光刻,三星和ASML签订万亿协议

据韩国贸易、工业和能源部周二称,三星电子和 ASML 同意共同投资 1 万亿韩元(7.62 亿美元)在韩国建设一座研究工厂,以开发使用极紫外 (EUV) 设备的尖端半导体制造技术。...

分类:业界动态 时间:2023/12/13 阅读:469 关键词:EUV光刻

郭明錤:EUV光刻机出货量,明年大跌30%

TF International Securities 分析师 Ming-Chi Kuo 表示,芯片设备制造商ASML明年可能面临订单削减,这导致该公司股价周三下跌。 ASML制造对于制造先进半导体至关重要的...

分类:行业趋势 时间:2023/9/28 阅读:2496 关键词:EUV光刻机

消息称台积电亚利桑那州工厂安装首台EUV光刻机

根据媒体报道,台积电亚利桑工厂,需要大量人工安装精密设备,还需要2000名员工,已经开始安装首台EUV光刻机。 台积电于美国当地时间2022年12月6日宣布其亚利桑那州晶圆...

分类:名企新闻 时间:2023/8/23 阅读:312 关键词:台积电

台积电美国厂导入首台EUV光刻机,为量产3nm做准备?

近日,有媒体报道称,台积电美国亚利桑那州厂导入了首台极紫外光(EUV)光刻机。 据了解,2020年5月,台积电宣布在美国亚利桑那州建厂,最初承诺投入120亿美元。去年12...

分类:名企新闻 时间:2023/8/22 阅读:281 关键词:EUV光刻机台积电

EUV光刻市场高速增长,复合年增长率21.8%

UV光刻市场预计在2023年的94亿美元基础上,到2028年将达到253亿美元,复合年增长率为21.8%。 EUV光刻技术解决了传统光刻技术在分辨率方面已经达到物理极限的限制。EUV光...

分类:行业趋势 时间:2023/8/7 阅读:2043 关键词:EUV光刻

ASML第一季度新增16亿欧元EUV光刻机订单

ASML发布2023年第一季度财报。财报显示,2023年第一季度,ASML实现了净销售额67亿欧元,毛利率为50.6%,净利润达20亿欧元。预计ASML 2023年第二季度的净销售额为65亿~70亿...

分类:名企新闻 时间:2023/4/20 阅读:557 关键词:ASML