类别：业界动态 出处：网络整理 发布于：2024-09-13 09:07:46 | 220 次阅读
从阿斯麦官网公布的消息显示，她们高数值孔径极紫外光刻机，命名为EXE系列，数值孔径将由0.33增至0.55，用于2nm及以下的制程工艺。
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