英特尔推出第二台高数值孔径 EUV 机器

类别:新品快报  出处:网络整理  发布于:2024-10-15 09:31:57 | 328 次阅读

  据 TechNews 报道,ASML 执行官 Christophe Fouquet 和英特尔执行官 Mark Phillips 表示,英特尔已经完成了用于 14A 及后续工艺的第二台高数值孔径 EUV 机器的组装。
  Fouquet 表示,与标准 EUV 机器相比,高 NA 机器的交付  不太可能面临延迟,因为与标准 EUV 机器不同,高 NA 机器可以在客户的工厂组装,而不必由 ASML 组装然后拆卸用于运输。高数值孔径方法可以节省时间和成本。
  英特尔光刻硬件总监菲利普斯表示,第二台高NA EUV机器的组装和安装速度比第一台要快,并且系统的基础设施已经完成,掩模版的检查正在按计划进行,公司只需很少的额外努力即可投入生产。
  飞利浦表示,高数值孔径机器相对于标准 EUV 机器所实现的改进  比预期更为显着。
  据报道,台积电已于 9 月份收到了第一台高 NA 机器,而三星购买该机器的计划仍不清楚。
关键词:英特尔

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