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Pixelligent新型纳米晶材料可使光学光刻技术扩展

据PixelligentTechnologiesLLC表示,该公司开发出一种据称可提高现有光刻设备分辨率的纳米晶(nanocrystalline)材料,使光学光刻(Opticallithography)可扩展至32纳米以下。该公司于近期结束了一轮2

分类:业界要闻 时间:2009/6/5 阅读:1078

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