EUV光刻

EUV光刻资讯

ASML世界最先进EUV光刻机只卖了5台!Intel:光刻没那么重要了

光刻机领域的巨头 ASML 向 Intel 交付了首套高数值孔径 High - NA EUV 光刻机,型号为 TWINSCAN EXE:5000。在当时,业界普遍对这款光刻机寄予厚望,认为 High - NA EUV 将...

分类:业界动态 时间:2025/7/5 阅读:342 关键词:EUV光刻机

EUV光刻机,要过七关

如何粉碎一块薄饼?这个问题困扰着阿姆斯特丹纳米光刻高级研究中心 (ARCNL) 的研究员迪翁·恩格尔斯 (Dion Engels)。  这里所说的薄饼指的是被粉碎的锡滴,它在 ASML 的光刻机中每秒被引爆五万次。这会产生等离子体,发射出极紫外 (EUV...

分类:业界动态 时间:2025/6/17 阅读:230 关键词:EUV光刻机

ASML扩招EUV光刻机员工,暴增500%

据日经新闻获悉,荷兰先进芯片制造设备供应商 ASML Holdings 计划在未来几年将其驻日本机器维护人员增加五倍。  ASML 是极紫外 (EUV) 光刻设备的唯一制造商,该设备对于...

分类:业界动态 时间:2025/4/3 阅读:528 关键词:EUV光刻机ASML

EUV光刻机新竞赛

三星电子半导体(DS)部门最早将于今年年底引进High NA极紫外(EUV)设备。除了下一代曝光设备之外,我们还在开发可以检查高数值孔径掩模的设备。看来他们正在积极从事技术...

分类:业界动态 时间:2024/8/19 阅读:514 关键词:EUV光刻机

降低EUV光刻使用成本,设备巨头宣布!

东京电子 推出了 Acrevia,这是一款新型气体团簇光束 (GCB) 系统,专为细化 EUV 光刻创建的图案而设计。该工具采用低损伤表面处理,可用于多种用途,包括减少即将推出的节...

分类:业界动态 时间:2024/7/10 阅读:356 关键词:EUV

EUV光刻机争夺战,正式开打

随着决定超精细半导体工艺竞争力的极紫外(EUV)光刻设备重要性日益提升,三星电子、台积电和英特尔三大代工厂对下一代设备的争夺也愈加激烈。  此前一直犹豫是否采用下一代EUV设备的台积电CEO,放弃了内部重大活动,飞赴荷兰与ASML洽...

分类:业界动态 时间:2024/5/28 阅读:390 关键词:EUV光刻

ASML正在考虑0.77NA的EUV光刻机

从相关报道看来,Hyper-NA EUV 和高生产力工具是 ASML 未来十年的主要目标。  ASML 荣誉首席技术官 Martin van den Brink 分享了通用 EUV 平台的“愿景”,其中可能包括 ...

分类:业界动态 时间:2024/5/23 阅读:459 关键词:ASML

三星联手蔡司,加码EUV光刻机

三星电子正在深化与蔡司集团在下一代EUV和芯片技术方面的合作,蔡司集团是全球唯一的极紫外(EUV)光系统供应商ASML Holding NV的光学系统唯一供应商。  三星执行董事长...

分类:业界动态 时间:2024/4/29 阅读:767 关键词:三星

高数值孔径EUV光刻机,重要里程碑

据路透社报道,ASML 和英特尔本周表示,后者通过打开光源并使光到达晶圆上的光刻胶,利用 ASML 的高数值孔径光刻系统实现了一个重要的里程碑。这表明光源和镜子已正确对齐...

分类:业界动态 时间:2024/2/29 阅读:395 关键词:光刻机

High NA EUV光刻机价格曝光,量产万事俱备

本周,在 2024 年先进光刻 + 图案化会议上,全球领先的纳米电子和数字技术研究与创新中心 IMEC 将展示 EUV 工艺、掩模和为实现高数值孔径(High-NA)极紫外(EUV)光刻而准...

分类:业界动态 时间:2024/2/27 阅读:521 关键词:光刻机

首台High-NA EUV光刻机,正式交货

据相关报道,ASML Holding NV表示,它开始向英特尔公司运送其第一台最新芯片制造机的主要部件。  据不愿透露姓名的知情人士透露,这套名为高数值孔径极紫外线的最先进系...

分类:业界动态 时间:2023/12/22 阅读:686

DNP开发出用于3纳米EUV光刻的光掩膜工艺

Dai Nippon Printing Co., Ltd. (DNP) (TOKYO: 7912)成功开发出一种光掩膜制造工艺,能够适应3纳米(10-9米)光刻工艺,以支持半导体制造的尖端工艺——极紫外(EUV)光刻。...

分类:新品快报 时间:2023/12/13 阅读:401 关键词:EUV光刻

有关EUV光刻,三星和ASML签订万亿协议

据韩国贸易、工业和能源部周二称,三星电子和 ASML 同意共同投资 1 万亿韩元(7.62 亿美元)在韩国建设一座研究工厂,以开发使用极紫外 (EUV) 设备的尖端半导体制造技术。...

分类:业界动态 时间:2023/12/13 阅读:577 关键词:EUV光刻

郭明錤:EUV光刻机出货量,明年大跌30%

TF International Securities 分析师 Ming-Chi Kuo 表示,芯片设备制造商ASML明年可能面临订单削减,这导致该公司股价周三下跌。 ASML制造对于制造先进半导体至关重要的...

分类:行业趋势 时间:2023/9/28 阅读:2563 关键词:EUV光刻机

消息称台积电亚利桑那州工厂安装首台EUV光刻机

根据媒体报道,台积电亚利桑工厂,需要大量人工安装精密设备,还需要2000名员工,已经开始安装首台EUV光刻机。 台积电于美国当地时间2022年12月6日宣布其亚利桑那州晶圆...

分类:名企新闻 时间:2023/8/23 阅读:395 关键词:台积电